Wolfram-Dickschichtmetallisierungen im Simultaneinbrand mit Aluminiumnitrid

Paperback

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Diese Arbeit hatte das Ziel, wesentliche Probleme bei der Vergesellschaftung von W mit der AlN-Keramik durch die Zusammensetzung der W-Metallisierungspaste in Kombination mit der thermischen Prozesstechnik zu lösen.
Schwerpunktmäßig wurden dabei die Einflüsse der Partikelgröße von W und den Sekundärphasen auf das Sinterverhalten und den Flächenwiderstand von W-Metallisierungen untersucht. Weiterhin wurden die durch die Prozesstechnik und die Materialzusammensetzungen hervorgerufenen Fremdphasen untersucht, deren Einflüsse betrachtet und Möglichkeiten zur Verringerung aufgezeigt.
Mit optimierter Prozesstechnik konnte der Aufbau von AlN-W-HTCC-Demonstratoren erfolgreich durchgeführt werden. Die Ergebnisse zeigen weiterhin, dass die Wolframkarbid-Bildung im Vergleich zur Wolframborid-Bildung nur einen geringen Einfluss auf den Flächenwiderstand der W-Metallisierung hatte.
Durch grundlegende Untersuchungen an den entwickelten W-Metallisierungen in verschiedenen Sinterzuständen konnte ein Modell zum Sinterverhalten der W-Metallisierung skizziert werden.
Im Gesamtergebnis zeigt die Arbeit, dass neben den verwendeten Werkstoffen weiterhin die thermische Prozesstechnik betrachtet werden muss.
ISBN
9783839607275
Vorm
Paperback
Uitgever
Van Ditmar Boekenimport B.V.
Druk
1e
Verschenen
01-01-2014
Taal
Duits
Pagina's
163 pp.
Genre
Geografie & Landbouw
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